U-III搭載HeNe激光傳感器，分辨率達0.1微米，支持0.1-5.0微米顆粒粒徑的六通道分類統(tǒng)計（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆蓋半導體制造中對超細微粒的嚴苛檢測需求。

靜態(tài)采樣模式：通過優(yōu)化氣流控制，減少測量誤差，提升數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。

智能化設計與操作體驗

7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。

雙電池熱插拔系統(tǒng)‌：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級‌：便捷導出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

行業(yè)應用與效益

提升制造效率

減少50%自凈時間‌：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設備維護周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。

延長MTBC（平均無故障周期）：結(jié)合顆?？刂撇呗?，關鍵設備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導體制造：晶圓表面、機臺內(nèi)腔等關鍵區(qū)域的潔凈度驗證。

精密光學與電子：液晶面板、光學鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國際標準

產(chǎn)品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導體廠商提供標準化檢測工具。

該系列設備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導體制造中的過程控制提供標準化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。

傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次

測量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；

          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒徑分布誤差：≤±30%

濃度示值誤差：≤±30%

重復相對偏差：≤±10%FS

重疊誤差：當每立方英尺2,000,000個粒子時小于5%

氣體檢測：可同時檢測氣體濃度，支持1-3個各種類型的氣體傳感器

溫度范圍：-40 ～ 120℃

檢定標準：計數(shù)報告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標準或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；三種檢測模式可切換

檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設置     

報警方式：自定義數(shù)量報警值、質(zhì)量報警值

限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器

法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計追蹤、電子記錄等

合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921

合 規(guī) 性：符合21 CFR Part 11

通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

存儲模式：實時存儲、定時存儲可設置；可存儲數(shù)據(jù)無限制

打印模式：可選配微型打印機打印數(shù)據(jù)