英微米表面顆粒檢測儀U-III搭載HeNe激光傳感器，分辨率達(dá)0.1微米，支持0.1-5.0微米顆粒粒徑的六通道分類統(tǒng)計（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆蓋半導(dǎo)體制造中對超細(xì)微粒的嚴(yán)苛檢測需求。
靜態(tài)采樣模式：通過優(yōu)化氣流控制，減少測量誤差，提升數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。
智能化設(shè)計與操作體驗
7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。
雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機。
USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級：便捷導(dǎo)出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。
行業(yè)應(yīng)用與效益
提升制造效率
減少50%自凈時間：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。
延長MTBC（平均無故障周期）：結(jié)合顆?？刂撇呗?，關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。
覆蓋高潔凈場景
半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證。
精密光學(xué)與電子：液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。
測量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒徑分布誤差：≤±30%
濃度示值誤差：≤±30%
重復(fù)相對偏差：≤±10%FS
重疊誤差：當(dāng)每立方英尺2,000,000個粒子時小于5%
氣體檢測：可同時檢測氣體濃度，支持1-3個各種類型的氣體傳感器
溫度范圍：-40 ～ 120℃
檢定標(biāo)準(zhǔn)：計數(shù)報告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；
采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；
檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；三種檢測模式可切換
檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置
報警方式：自定義數(shù)量報警值、質(zhì)量報警值
限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器
法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計追蹤、電子記錄等
合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921
合 規(guī) 性：符合21 CFR Part 11
通訊接口：RS232、R485、LAN-USB
存儲模式：實時存儲、定時存儲可設(shè)置；可存儲數(shù)據(jù)無限制
會員服務(wù) 
供應(yīng)商參考報價：￥248000
